首先，在濕法腐蝕、清洗設備、擴散方面，主要是自動制絨設備、自動清洗設備、全封閉擴散爐、刻蝕機、去PSG設備等國內已經能夠制造，已經達到世界先進水平，且性價比優勢十分明顯；國產PECVD（管式）的工藝結果已接近世界先進水平，這是這種設備的優勢。但它的自動化程度(自動裝卸片)不如進口設備(進口設備如德國Centrotherm公司產品，售價是國產設備的三倍左右)，平板型PECVD目前國內已有企業生產，有待進一步驗證；第三，國產絲網印刷機(只有手動)，與進口自動化產品的差距也是在自動裝卸片(機械手)和自動檢測手段上，全自動絲網印刷機已有企業生產，工藝有待進一步驗證；第四，高溫燒結爐技術提高，開始批量在大線上使用；第五，自動檢測分揀設備目前國內已達到國際中等水平。
　　然而，盡管國產太陽能光伏設備在國內用戶中已建立起良好的信譽，得到業界的廣泛認可，越來越多的客戶從價格適中、性能良好、技術不斷進步的國產設備中受益。但我們也應該看到，國內半導體設備廠商在整體技術水平尤其是尖端技術水平上和國外廠商尚有差距。業內專家指出，國產太陽能光伏設備的競爭力不完全在于設備的性能指標，而在于設備的性能價格比。成本是太陽能光伏產業的終極目標，業內有句話，光伏設備沒有最好的，只有最合適的。據了解，建設一條太陽能電池生產線，70%以上的投資是用來購買設備，而國產設備的價格平均只有國外產品的1/3—1/2，采用國產設備輔以少量進口設備，可以將建線成本降低一半以上。
　　清洗/制絨設備：單晶硅光伏電池槽式基本國產，多晶硅電池連續式進口居多
　　當前環境下，國內清洗設備企業正直面生存和發展的問題。調查中發現，面對這場全球性的危機，電池清洗設備企業在擔憂的同時，應對未來發展持謹慎樂觀態度。擔憂的是這場風險對那些發展不好、實力不強的企業影響很大，樂觀的是清洗機行業仍然是全球和我國持續發展的新材料產業。過去幾年來，清洗機國內產量快速增長和外貿出口量不斷加大，產業不斷擴張，這造成了當前大量清洗機開始“倒向”國內市場。國內清洗機行業因國內外市場的需求萎縮，企業出現限產和停產的狀況。
　　在太陽能電池企業，目前在清洗制絨方式上采用的設備方式一般有三種：一種是效率不高但很實用的手動操作清洗設備；第二種是分體式全自動清洗，即清洗、制絨工序各用相關設備；第三種是目前較流行的一體式清洗機，從研磨片到電池片一步到位。以上三種方式各有利弊：手動操作盡管慢，但對于產量不大，人力成本低的廠家來說是很好的選擇；分體式清洗機對硅片參數要求不高，效率也比較高，較容易找出電池片出問題的所在；一體式清洗機效率高，自動化程度高，但對硅片尺寸要求嚴格，維護起來也不太方便。
　　制絨工藝比較復雜，不同公司有各自獨特的制絨方法。基本的工藝流程為：上料→HF+HNO3腐蝕→QDR+氮氣鼓泡+噴淋→KOH腐蝕→QDR+氮氣鼓泡+噴淋→HCl腐蝕→QDR+氮氣鼓泡+噴淋→下料→離心機甩干(離線)。使用到的化學添加劑有兩種，一種是IPA(異丙醇)，另一種是工業酒精。目前國內的清洗制絨設備以達到了國際先進水平，體現在以下方面：全程PLC控制，觸摸屏操作；采用新型勻液及風道設計技術，降低清洗成本，減少污物的排放；新的密封隔離技術的使用，杜絕了生產過程中的微漏，保護整體電氣系統的安全；槽體配置可實現腐蝕后殘留在片子上的化學液及污染顆粒的沖洗祛除功能；大多采用機械手方式移動，工藝時間可以自行調節；酸堿槽具有自動補液裝置，可實現無間斷生產；整個清洗、制絨過程中使用環保的清洗制絨液，降低了后續處理成本；最重要的是融合熱氮烘干功能，取代甩干機，大大降低了碎片率。以上技術在調查中，基本以槽式機為主，在濕法制絨（連續式）及等離子（干法）制絨機方面國內正在研發，試驗工藝已取得一定進展。
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